當光源發出的光波照射到被測膜層時，一部分光波會在膜層表面反射，另一部分則穿透膜層并在其與基底的界面上再次反射回來。這些反射光之間因路徑差異形成干涉現象，日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測儀通過探測器接收并分析反射/透射光波的相位差，即可準確計算出薄膜厚度。此方法適用于透明及不透明薄膜的測量。
 

　　日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測儀的測定步驟：
 

　　1.準備工作
 

　　-安裝與通電：確認儀器已經正確安裝并接通電源。
 

　　-預熱儀器：開啟儀器后，讓其預熱至穩定狀態，以確保測量的準確性。
 

　　-選擇校準標準：挑選與待測材料相似的校準塊，且校準塊的厚度應覆蓋待測材料的厚度范圍。
 

　　-設置校準模式：依據儀器說明書，選擇合適的校準模式。
 

　　2.校準操作
 

　　-校準零點：將探頭放置在無涂層的基底材料上，進行零點校準。
 

　　-校準多點：把探頭依次放置在校準塊的不同厚度位置，記錄儀器的讀數，并在每個校準點上停留足夠時間，以獲取穩定數值。
 

　　3.實際測量
 

　　-清潔樣品表面：保證待測樣品表面干凈、光滑，無灰塵、污垢或附著物，粗糙的表面會影響探頭與樣品的接觸，降低測量精度。
 

　　-定位測量點：避免在樣品的邊緣或轉角處進行測量，盡量選擇平整、具有代表性的區域作為測量點。若使用管狀適配器連續測定平面，可使測量更穩定。
 

　　-執行測量：抓住與測定部接近的部分，迅速在與測定面成垂直的角度按下探頭進行測量。每次測量要從探頭的前端測定面開始離開10mm以上。
 

　　-記錄結果：等待測量結果顯示完成后，記錄測量得到的薄膜厚度數值。根據需要，可重復上述步驟多次測量并取平均值，以提高測量結果的準確性。